MEMS Teststimuli

Die Systemschnittstelle mit bis zu 1500 x 2 Drähten verbindet die Ausgangspin-Geräte direkt mit der Messtechnik, um alle parametrischen Messungen während der MEMS-Stimulation durchzuführen.

Die Drehtische sind einfach zu bedienen: Es ist sehr leicht, Befehlsfolgen einzustellen, direkte Fahrbefehle zu verwenden und die elektrischen Messungen des Geräts zu starten.

Sie können in integrierte MEMS-Testzellen (komplett mit Testhandler und Testressourcen) eingebettet oder als Engineering-Einheiten verwendet werden, um Massenproduktions-, Engineering- oder Prototypenprüfungen durchzuführen.

• Große Multi-Site MEMS Kontaktiereinheit: bis zu 140 parallel getestete Geräte
• Gyroskop-Test: konstante Geschwindigkeit (trapezförmiges Profil mit programmierbarer Geschwindigkeit), sinusförmige und kombinierte sinusförmige Profile mit programmierbarer Amplitude und Frequenz
• Präziser absoluter Positioniermodus für den Beschleunigungssensor-Test
• Hohe Ganggenauigkeit keine Drift, ausgezeichnete Gangstabilität, hohe Torsionssteifigkeit.
• Durchgehende Verbindung zum Tester während des Vorgangs
• Programmierbare Bewegungsprofile über DLL-Anweisungen
• Präzise und zuverlässige Bewegungssteuerung über ein servogesteuertes System, bestehend aus DC-Drehmomentmotoren mit präzisen optischen Inkrementalgebern
• HF-Option mit dedizierten Drähten für Hochfrequenzsignale bis 25MHz
• Automatische Reinigung des Kontaktors und automatische Geräteausrichtung für eine hohe Betriebsautonomie
• Geräteleistung mit Kelvinkontakten
• Stickstofffreie Tri-Temp Konditionierung (Bereich: -50 bis 150 °C)

MEMS-Geräte können gleichzeitig in XYZ stimuliert werden, was zu Einsparungen bei der Zykluszeit führt, mit allen damit verbundenen Vorteilen in Bezug auf die Testzeit (insbesondere wenn mehrere Testdurchgänge bei Temperatur erforderlich sind) und die Minimierung des Risikos von Geräteschäden.

Die Module bieten Spitzenleistungen mit weniger als 1,5 % Klirrfaktor bei 28 g/90 Hz Stimulation. Der Aktuator ist auf schwingungsdämpfenden Platten montiert, während das Fahrgestell der Einheit aus Naturgranit besteht, um beste Schütteleigenschaften zu bieten.

• Simultaner Schüttelstimulus auf XYZ
• Tri-Temperatur-Test
• bis zu 28 g/120 Hz
• Klirrfaktor <1,5 %
• Multi-Site-Fähigkeit: bis zu 49x
• 1.440 Drahtschnittstelle zum Tester
• Stickstofffreie Tri-Temp Konditionierung (Bereich: -50 bis 150 °C)

Die Integration mit dem Pick & Place-Handler und Testsystem bietet eine hocheffiziente, schlüsselfertige Lösung zur Senkung der Testkosten: in einer vollautomatischen Maschine können bis zu 392 Geräte gleichzeitig kontaktiert und getestet werden.

Bis zu 3 verschiedene Testkammern können in einem einzigen Modul mit unabhängigen Generatoren, Anzeigen und Kontaktiereinheiten installiert werden. Die Testkammern sind speziell so konzipiert, dass jegliche Leckage vermieden wird, um die beste Druckgenauigkeit bei Durchführung des Tests zu gewährleisten.

Spezielle Regler und Thermoeinheiten ermöglichen die unabhängige dynamische Änderung der Druck- und Temperaturwerte, auch während der Testdurchführung. Die Temperatur wird durch ein schnelles thermisches Konditionierungssystem erzeugt und aufrechterhalten, während der Thermochuck direkt mit dem DUT (Device Under Test – Prüfling) in Kontakt gebracht wird, um eine optimale Wärmeübertragung zu gewährleisten. Ein schnelles Temperaturwechselsystem (typisch 2 °C/s Heizen/Kühlen) ermöglicht den Test der Geräte bei unterschiedlichen Temperatureinstellungen mit nur einem Pick-and-Place-Einsatz.

Druckbereiche:

• Barometrischer Druckbereich: 0,03 bis 0,13 MPaA (0,3 bis 1,3 barA)
• TPMS Druckbereich 1: 0,03 bis 1,6 MPaA (0,3 bis 16 barA)
• TPMS Druckbereich 2: 0,03 bis 1,1 MPaA (0,3 bis 11 barA)
• Differential-Druckbereich: -0,07 bis 0,4 MPaA (-0,7 bis 4 bar)
• Erweiterter Druckbereich: 0,03 bis 7,05 MPaA (0,3 bis 70,5 barA)

Hauptmerkmale:

• Große Multisite MEMS Kontaktiereinheit: bis zu 392 parallel getestete Geräte
• Thermo- + Druck- + Gas- + Temperatur stimulus (-40 bis 180 °C)
• Beste Druck stabilität
• Temperaturwechsel während der Testdurchführung
• Schneller Druckwechsel mit bis zu 6 Behältern zur Beschleunigung der Sollwertänderung und Beruhigungszeit
• Einfache Verbindung mit SPEA-Testern mit bis zu 2.520 Schnittstellendrähten pro Kammer

Ausgehend von einer hochisolierten Akustikkammer, ist die Mikrofon-Testeinheit in der Lage, die exakte akustische Replikation der vom Testsystem bereitgestellten elektrischen Eingangssignale zu erzeugen, während das zu testende Gerät von allen externen Geräuschen isoliert ist. Der akustische Stimulus an jeder Test-Site ist individuell und vollkommen unabhängig. Die ausgezeichnete Isolierung ermöglicht präzise und wiederholbare Messungen, auch bei tiefen Frequenzen und klar definierten einheitliche Testbedingungen.

• Präzises akustisches Signal, bis zu 70 dB SNR
• Das akustische Signal wird an jeder Test-Site unabhängig angelegt: es ist kein reflexionsarmer Raum erforderlich
• Perfekte Isolierung gegen äußere Geräusche
• Großer Multi-Site Test: bis zu 98 parallel getestete Geräte
• Lautsprecher und Referenzmikrofon pro Site
• AWG und Digitalisierer pro Site, mit Amplitudensteuerung für jede Site

Akustische Messungen:

• Gesamtklirrfaktor THD, THOD
• Rubb and Buzz
• Schalldruckpegel (SPL)
• Schalldruckpegel (SPL) Phase

Elektrische Messungen:

• Impedanz
• Kapazität
• Undichtigkeit
• Unterbrechung/Kurzschluss
• Stromaufnahme

Die Sensorprüfung erfolgt durch Messung der Rückkopplung auf ein bestimmtes Ziel, das in verschiedenen, vorgegebenen Abständen aufgestellt wird. Es können mehrere Näherungsziele verwendet werden, indem Abstand, Farbe und Lichtverhältnisse geändert werden (z. B. weißes Licht oder IR-Beleuchtung).

Eine Mehrstationen-Revolvereinheit ermöglicht den mehrstufigen Betrieb im Testbereich: Die Geräte werden auf mehreren Stufen parallel geprüft, wobei auf jeder Stufe verschiedene Testsequenzen verwaltet werden. Die erste Revolverstation ist für das Be- und Entladen des Geräts vorgesehen, während jede der anderen Stationen ein anderes optisches Kammergehäuse mit Testgerätschnittstelle und Kontakteinheit aufnehmen kann. Auf jeder Stufe können mehrere Ziele platziert werden, um die Funktionstüchtigkeit des Sensors unter unterschiedlichen Lichtintensitäts-, Farb- und Abstandsverhältnissen zu testen. Die hochpräzise Prüfung der UV-Sensoren basiert auf Solarsimulatoren der AAA-Klasse.

Jede Teststufe, jede Kontaktiereinheit und jedes Prüfmodul wird von einer eigenen CPU verwaltet, die mit der Testleitstelle kommuniziert. Dies garantiert eine hohe Betriebsgeschwindigkeit, eine schnelle Einrichtung und eine rasche Diagnose. Der Platzbedarf der Testzelle wird durch die hohe Integration der Module und Prozesse optimiert.

• Hoher Durchsatz: 48x Multi-Site
• Elektrischer + funktioneller Sensortest
• Einrichtung von Abstand, Farbe und Lichtverhältnissen
• Mehrstufige Prüfung an derselben Maschine
• Schnelle Umrüstung der Verpackung

Funktionstests umfassen Frequenz, Einschaltdauer, Drehrichtung, Magnetfeldstärke, Empfindlichkeit und Sensorkalibrierung. Sie werden zusätzlich zu den standardmäßigen elektrischen Prüfungen (Unterbrechung/Kurzschluss, Dichtigkeitsmessungen usw.) durchgeführt

Die Testsequenz wird mit hoher Präzision und Stabilität durchgeführt, wobei die Testkosten durch den parallelen Betrieb von bis zu 49 Geräten niedrig gehalten werden.

Die Testeinheiten können je nach Bedarf der jeweiligen Anwendung 1D-, 2D- oder 3D-Magnetfelder nach völlig willkürlichen Wellenformen mit Frequenzen über 2 kHz erzeugen. Es können zweidimensionale, besonders starke Magnetfelder erzeugt werden, um Sensoren zu stimulieren, die für eine ordnungsgemäße Prüfung Dutzende von Kiloampere/Meter benötigen.

Einheitliche Magnetfelder können statisch oder rotierend sein und in alle Richtungen (360° Rotationswinkel) angelegt werden, mit der Möglichkeit, ihre Position gezielt zu verändern, um verschiedene Arbeitsbedingungen zu simulieren (einschließlich des „Null-Feld“-Falls).

Spezielle Testintegrationen basieren auf der am besten geeigneten Technologie: magnetische Leiterplatten, Steckerspulen oder Permanentmagnete können als Feldquellen verwendet werden. Für jeden Gerätetyp wird je nach den spezifischen Anforderungen die beste Lösung gewählt.